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³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø, »ï¼º º¸À¯ 300mm ¹ÝµµÃ¼Àåºñ µµÀÔÀ¸·Î ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ±â¼úÀÚ¸³ ¾Õ´ç±ä´Ù¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå ±â¼ú°³¹ß Áö¿ø¿ª·® °­È­ ¹× ´ë±â¾÷-Áß¼Ò±â¾÷-°ø°ø Å×½ºÆ®º£µå°£ »óÈ£¿¬°è Çù·Â»ýÅÂ°è ±¸Ãà °è±â ¸¶·Ã
  • À̼±¿ì ±âÀÚ
  • ½ÂÀÎ 2022.06.29 18:24
  • ´ñ±Û 1
³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø 1ÃþûÁ¤½Ç¿¡ ±¸ÃàµÈ 5´ë Àåºñ. /»çÁøÁ¦°ø=³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø

[½Ã»çÄÚ¸®¾ÆÀú³Î=À̼±¿ì ±âÀÚ] ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø(¿øÀå ÀÌÁ¶¿ø, ÀÌÇÏ ±â¼ú¿ø)Àº ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ®º£µå ±â¹ÝÀÇ ¼ÒºÎÀå ¼­ºñ½º ¿µ¿ª È®´ë, ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Áö¿ø¿ª·® °­È­¸¦ À§ÇØ »ï¼º¿¡¼­ º¸À¯ÇÑ 12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ 3´ë¸¦ ³ª³ëÆÕ¿¡ ÀÌÀü ¼³Ä¡ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. 

±â¼ú¿øÀº ‘21. 3¿ù ±¹³» ÃÖÃʷΠ12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå Å×½ºÆ®º£µå¸¦ ±¸Ãà, °ü·Ã ±â¾÷°ú ¿¬±¸±â°ü µî¿¡ ¾ç»ê´Ü°èÀÇ ±â¼ú°³¹ß ¹× ½ÇÁõ ¼º´ÉÆò°¡ ¼­ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÇöÀç ±¸ÃàµÈ Å×½ºÆ®º£µå Àåºñ´Â ÀϺΠ¼ÒÀç Áß½ÉÀ¸·Î ¼º´ÉÆò°¡¸¦ Áö¿øÇÏ°í À־¸´Ù ´Ù¾çÇÑ ¼ÒÀç¿Í ºÎÇ°·Àåºñ ±¹»êÈ­ °³¹ß Áö¿øÀ» À§Çؼ­´Â Ãß°¡ÀûÀΠÀåºñ È®º¸°¡ ÇÊ¿äÇÑ »óȲÀ̾ú´Ù.

ƯÈ÷ ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç, ºÎÇ°, Àåºñ°³¹ßÀº ±â¼úÀÇ ¼öÁØ ¹× Æ¯¼º»ó ´Üµ¶ÀûÀΠ°³¹ßº¸´Ù Æ¯Á¤ °øÁ¤°ú ÀåºñÇ÷§Æû ¼±»ó¿¡¼­ »óÈ£ ¿¬°èµÈ °³¹ß°ú Æò°¡°úÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°Ô µÆ´Ù.

¹ÝµµÃ¼ Àåºñ´Â ºÎÇ°ÀÇ Á¶ÇÕÀ¸·Î ±¹³» °³¹ß ºÎÇ°ÀÇ ½Å·Ú¼º°ú ÇѰ輺À» ±Øº¹Çϱâ À§Çؼ­´Â ´Ù¾çÇÑ ºÎÇ°°ú Àåºñ°£ Áö¼ÓÀûÀΠÇù¾÷°ú Çǵå¹éÀ» Áö¿øÇÒ Àü¿ëÀåºñ ±¸ÃàÀÌ ¸Å¿ì ÇÊ¿äÇÑ °ÍÀ¸·Î ±â¼ú¿øÀº ÆÇ´ÜÇÏ°í ÀÚüÀûÀ¸·Î ´ë±â¾÷ µîÀÇ ÀåºñÈ®º¸¸¦ ÃßÁøÇØ¿Ô´Ù. 

¾Õ¼­ ±â¼ú¿øÀº Å×½ºÆ®º£µå ±¸Ãà °úÁ¤¿¡¼­ ÇÙ½ÉÀåºñÀΠArF Immersion Scanner (12ÀÎÄ¡ ³ë±¤Àåºñ)°¡ ºÎÀçÇÑ Àåºñ½ÃÀå »óȲ¿¡¼­ »ï¼ºÀÇ Àû±ØÀûÀΠº¸À¯Àåºñ ¸Å°¢ ÀÌÀü Áö¿øÀ¸·Î Å×½ºÆ®º£µå¸¦ Á¶±â ±¸ÃàÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. 

ÀÌÈÄ »ï¼º°ú ±â¼ú¿øÀº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå »ýÅ°è Á¶¼º°ú »ó»ýÇù·Â ¹× »çȸÀû ±â¿© µî ±ä¹ÐÇÑ Çù·ÂÀ» À§ÇØ »ï¼º¿¡¼­ º¸À¯ÇÑ °¡¿ëÀåºñ¸¦ °ø°ø³ª³ëÆÕ ½Ã¼³¿¡ Àú°¡ ÀÌÀüÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇùÀÇÇßÀ¸¸ç, ‘21³â 3´ë, ’22³â 3´ë µî Å×½ºÆ®º£µå ¹× Áß¼Ò±â¾÷¿¡¼­ ÇÊ¿äÇÑ Àåºñ¸¦ ÀÌÀüÇß´Ù. 

³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø ¿¬±¸¿øÀÌ ±â¼ú¿ø 2Ãþ 12ÀÎÄ¡Å×½ºÆ®º£µå¿¡¼­ ÃøÁ¤ ¹× ÁõÂø Àåºñ¸¦ ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù. /»çÁøÁ¦°ø=³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø

±â¼ú¿øÀº »ï¼ºÀÇ º¸À¯¼³ºñ ÀÌÀüÀ» °è±â·Î ¼ÒºÎÀå Å×½ºÆ®º£µå Àåºñ È®Ãæ ¹× °íµµÈ­¸¦ ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ¼±Çà±â¼ú°³¹ß, ½ÃÁ¦Ç°Á¦ÀÛ ¹× ¼º´ÉÆò°¡ µî ½Å·Ú¼º Àִ ½ÇÁõµ¥ÀÌÅ͸¦ Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á Á¾ÇչݵµÃ¼ ´ë±â¾÷-Áß¼Ò±â¾÷, °ø°ø Å×½ºÆ®º£µå°£ ±ä¹ÐÇÑ ¿¬°èÇù·Â »ýÅ°蠱â¹Ý ±¸ÃàÀ» Àû±Ø ÃßÁøÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. 

¿ÃÇØ »ï¼º¿¡¼­ ÀÌÀüÇϴ Àåºñ´Â 300mm ±Ý¼Ó¹Ú¸· ÁõÂø ½ºÆÛÅ͸µ(Sputtering), ½Ç¸®ÄÜ »êÈ­¸· ¹× ÁúÈ­¸· ½Ä°¢Àåºñ, Æú¸®½Ç¸®ÄÜ ½Ä°¢Àåºñ µî 3´ë·Î ´ÙÁßÃÀ¹ö·Î ±¸¼ºµÅ À־پçÇÑ ¼ÒÀç, ºÎÇ°, Àåºñ °³¹ß ¹× ½ÇÁõÅ×½ºÆ®, ±âÁ¸ 200mm °øÁ¤Àåºñ¿Í ¿¬°èÇÑ 300mm ¼öÁØÀÇ Â÷¼¼´ë ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ °³¹ß¿¡ È°¿ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

ÀÌÁ¶¿ø ±â¼ú¿øÀåÀº “ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ°¡°Ý ±Þµî, ³³±âÁö¿¬ µîÀ¸·Î ÀåºñÈ®º¸°¡ ¾î·Á¿î »óȲ¿¡¼­ º¸À¯Àåºñ ÀÌÀüÀ» °áÁ¤ÇØÁֽŠ»ï¼º¿¡ °¨»çµå¸°´Ù"¸ç "¼ÒºÎÀå °ü·Ã ±â¾÷ÀÌ ÇÊ¿ä·Î Çϴ Àåºñ ¹× °øÁ¤±â¼ú Ç÷§Æû °íµµÈ­¿Í °³¹ß °á°ú¹°ÀÌ ¼ö¿ä±â¾÷¿¡ ½Å¼ÓÈ÷ Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ´ë±â¾÷ µî °ü·Ã±â¾÷°úÀÇ ¿¬°è Çù·ÂÀ» °­È­ÇØ ¼ÒºÎÀå ±â¼úÀÚ¸³À» ¾Õ´ç±æ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù”°í ¼Òȸ¸¦ ¹àÇû´Ù. 

À̼±¿ì ±âÀÚ  lsw102424@naver.com

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © e½Ã»çÄÚ¸®¾ÆÀú³Î, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

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