³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø 1ÃþûÁ¤½Ç¿¡ ±¸ÃàµÈ 5´ë Àåºñ. /»çÁøÁ¦°ø=³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø |
[½Ã»çÄÚ¸®¾ÆÀú³Î=À̼±¿ì ±âÀÚ] ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø(¿øÀå ÀÌÁ¶¿ø, ÀÌÇÏ ±â¼ú¿ø)Àº ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ®º£µå ±â¹ÝÀÇ ¼ÒºÎÀå ¼ºñ½º ¿µ¿ª È®´ë, ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ Áö¿ø¿ª·® °È¸¦ À§ÇØ »ï¼º¿¡¼ º¸À¯ÇÑ 12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ 3´ë¸¦ ³ª³ëÆÕ¿¡ ÀÌÀü ¼³Ä¡ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
±â¼ú¿øÀº ‘21. 3¿ù ±¹³» ÃÖÃÊ·Î 12ÀÎÄ¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå Å×½ºÆ®º£µå¸¦ ±¸Ãà, °ü·Ã ±â¾÷°ú ¿¬±¸±â°ü µî¿¡ ¾ç»ê´Ü°èÀÇ ±â¼ú°³¹ß ¹× ½ÇÁõ ¼º´ÉÆò°¡ ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇöÀç ±¸ÃàµÈ Å×½ºÆ®º£µå Àåºñ´Â ÀϺΠ¼ÒÀç Áß½ÉÀ¸·Î ¼º´ÉÆò°¡¸¦ Áö¿øÇÏ°í ÀÖ¾î º¸´Ù ´Ù¾çÇÑ ¼ÒÀç¿Í ºÎÇ°·Àåºñ ±¹»êÈ °³¹ß Áö¿øÀ» À§Çؼ´Â Ãß°¡ÀûÀÎ Àåºñ È®º¸°¡ ÇÊ¿äÇÑ »óȲÀ̾ú´Ù.
ƯÈ÷ ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç, ºÎÇ°, Àåºñ°³¹ßÀº ±â¼úÀÇ ¼öÁØ ¹× Ư¼º»ó ´Üµ¶ÀûÀÎ °³¹ßº¸´Ù ƯÁ¤ °øÁ¤°ú ÀåºñÇ÷§Æû ¼±»ó¿¡¼ »óÈ£ ¿¬°èµÈ °³¹ß°ú Æò°¡°úÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°Ô µÆ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ´Â ºÎÇ°ÀÇ Á¶ÇÕÀ¸·Î ±¹³» °³¹ß ºÎÇ°ÀÇ ½Å·Ú¼º°ú ÇѰ輺À» ±Øº¹Çϱâ À§Çؼ´Â ´Ù¾çÇÑ ºÎÇ°°ú Àåºñ°£ Áö¼ÓÀûÀÎ Çù¾÷°ú Çǵå¹éÀ» Áö¿øÇÒ Àü¿ëÀåºñ ±¸ÃàÀÌ ¸Å¿ì ÇÊ¿äÇÑ °ÍÀ¸·Î ±â¼ú¿øÀº ÆÇ´ÜÇÏ°í ÀÚüÀûÀ¸·Î ´ë±â¾÷ µîÀÇ ÀåºñÈ®º¸¸¦ ÃßÁøÇØ¿Ô´Ù.
¾Õ¼ ±â¼ú¿øÀº Å×½ºÆ®º£µå ±¸Ãà °úÁ¤¿¡¼ ÇÙ½ÉÀåºñÀÎ ArF Immersion Scanner (12ÀÎÄ¡ ³ë±¤Àåºñ)°¡ ºÎÀçÇÑ Àåºñ½ÃÀå »óȲ¿¡¼ »ï¼ºÀÇ Àû±ØÀûÀÎ º¸À¯Àåºñ ¸Å°¢ ÀÌÀü Áö¿øÀ¸·Î Å×½ºÆ®º£µå¸¦ Á¶±â ±¸ÃàÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
ÀÌÈÄ »ï¼º°ú ±â¼ú¿øÀº ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå »ýÅ°è Á¶¼º°ú »ó»ýÇù·Â ¹× »çȸÀû ±â¿© µî ±ä¹ÐÇÑ Çù·ÂÀ» À§ÇØ »ï¼º¿¡¼ º¸À¯ÇÑ °¡¿ëÀåºñ¸¦ °ø°ø³ª³ëÆÕ ½Ã¼³¿¡ Àú°¡ ÀÌÀüÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇùÀÇÇßÀ¸¸ç, ‘21³â 3´ë, ’22³â 3´ë µî Å×½ºÆ®º£µå ¹× Áß¼Ò±â¾÷¿¡¼ ÇÊ¿äÇÑ Àåºñ¸¦ ÀÌÀüÇß´Ù.
³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø ¿¬±¸¿øÀÌ ±â¼ú¿ø 2Ãþ 12ÀÎÄ¡Å×½ºÆ®º£µå¿¡¼ ÃøÁ¤ ¹× ÁõÂø Àåºñ¸¦ ¿î¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù. /»çÁøÁ¦°ø=³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø |
±â¼ú¿øÀº »ï¼ºÀÇ º¸À¯¼³ºñ ÀÌÀüÀ» °è±â·Î ¼ÒºÎÀå Å×½ºÆ®º£µå Àåºñ È®Ãæ ¹× °íµµÈ¸¦ ÅëÇØ Â÷¼¼´ë ¼±Çà±â¼ú°³¹ß, ½ÃÁ¦Ç°Á¦ÀÛ ¹× ¼º´ÉÆò°¡ µî ½Å·Ú¼º ÀÖ´Â ½ÇÁõµ¥ÀÌÅ͸¦ Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á Á¾ÇչݵµÃ¼ ´ë±â¾÷-Áß¼Ò±â¾÷, °ø°ø Å×½ºÆ®º£µå°£ ±ä¹ÐÇÑ ¿¬°èÇù·Â »ýÅÂ°è ±â¹Ý ±¸ÃàÀ» Àû±Ø ÃßÁøÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¿ÃÇØ »ï¼º¿¡¼ ÀÌÀüÇÏ´Â Àåºñ´Â 300mm ±Ý¼Ó¹Ú¸· ÁõÂø ½ºÆÛÅ͸µ(Sputtering), ½Ç¸®ÄÜ »êȸ· ¹× Áúȸ· ½Ä°¢Àåºñ, Æú¸®½Ç¸®ÄÜ ½Ä°¢Àåºñ µî 3´ë·Î ´ÙÁßÃÀ¹ö·Î ±¸¼ºµÅ ÀÖ¾î ´Ù¾çÇÑ ¼ÒÀç, ºÎÇ°, Àåºñ °³¹ß ¹× ½ÇÁõÅ×½ºÆ®, ±âÁ¸ 200mm °øÁ¤Àåºñ¿Í ¿¬°èÇÑ 300mm ¼öÁØÀÇ Â÷¼¼´ë ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ °³¹ß¿¡ È°¿ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
ÀÌÁ¶¿ø ±â¼ú¿øÀåÀº “ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ°¡°Ý ±Þµî, ³³±âÁö¿¬ µîÀ¸·Î ÀåºñÈ®º¸°¡ ¾î·Á¿î »óȲ¿¡¼ º¸À¯Àåºñ ÀÌÀüÀ» °áÁ¤ÇØÁֽŠ»ï¼º¿¡ °¨»çµå¸°´Ù"¸ç "¼ÒºÎÀå °ü·Ã ±â¾÷ÀÌ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â Àåºñ ¹× °øÁ¤±â¼ú Ç÷§Æû °íµµÈ¿Í °³¹ß °á°ú¹°ÀÌ ¼ö¿ä±â¾÷¿¡ ½Å¼ÓÈ÷ Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ´ë±â¾÷ µî °ü·Ã±â¾÷°úÀÇ ¿¬°è Çù·ÂÀ» °ÈÇØ ¼ÒºÎÀå ±â¼úÀÚ¸³À» ¾Õ´ç±æ ¼ö ÀÖµµ·Ï ³ë·ÂÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù”°í ¼Òȸ¸¦ ¹àÇû´Ù.
À̼±¿ì ±âÀÚ lsw102424@naver.com
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © e½Ã»çÄÚ¸®¾ÆÀú³Î, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>