[½Ã»çÄÚ¸®¾ÆÀú³Î=À̼±¿ì ±âÀÚ] ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø(¿øÀå ÀÌÁ¶¿ø, ÀÌÇÏ ±â¼ú¿ø)Àº ¼¼°èÀû Àåºñ±â¾÷ÀÎ ASMLÄÚ¸®¾Æ(´ëÇ¥ ÀÌ¿ì°æ, ³ë±¤Àåºñ ÆÄÆ®¼ö¸® °ËÁõ ¼Ö·ç¼Ç °³¹ßÆÀ, ÀÌÇÏ RDC)¿Í ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ³ë±¤Àåºñ ºÎÇ° ½Å·Ú¼º Å×½ºÆ®¸¦ À§ÇÑ Çù·Â ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÃßÁøÇÑ´Ù.
ArF Immersion Scanner(ASML)´Â Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î 40³ª³ë ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼(20³ª³ë±Þ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ µî) °³¹ß°ú »ý»êÀ» À§ÇÏ¿© ¸¹ÀÌ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Â Àåºñ´Ù.
ASML´Â Çѱ¹»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ Àåºñ À¯Áöº¸¼ö ¼ºñ½º Á¦°øÀ» À§ÇÑ ºÎÇ° Å×½ºÆ®º£µå Çù·Â±â°üÀÌ ÇÊ¿äÇß´Ù.
ÀÌ¿¡ ASMLÄÚ¸®¾Æ´Â ±â¼ú¿øÀÌ º¸À¯ÇÑ ³ë±¤Àåºñ(ArF Immersion Scanner)¸¦ È°¿ëÇÏ¿© ÇÙ½É ÀåºñºÎÇ°ÀÇ ½Å·Ú¼º °ËÁõ °¡´É¼ºÀ» È®ÀÎÇÏ°í, ±â¼ú¿ø¿¡ ºÎÇ° °³¹ß Çù·ÂÀ» ¿äûÇß´Ù.
±â¼ú¿øÀº ÇØ´ç ³ë±¤Àåºñ°¡ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ´ë±â¾÷(»ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼)¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» À§ÇÏ¿© È°¿ëµÇ´Â ÇÙ½ÉÀåºñ·Î, ASMLÄÚ¸®¾Æ(RDC)ÀÇ ºÎÇ° ½Å·Ú¼º °ËÁõ Áö¿øÀ» ÅëÇÏ¿© ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í ÆÇ´ÜÇÏ°í ¾ç ±â°ü°£ »óÈ£ Çù·ÂÀ» ÃßÁøÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù.
ÀÌ´Â ±â¼ú¿øÀÌ ³ë±¤Àåºñ ¼¼°è ÃÖ°í ±â¾÷ÀÎ ASML°ú Çù·ÂÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ° ½Å·Ú¼º ½ÇÁõÆò°¡¸¦ Áö¿øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼¼°èÀû ¼öÁØÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Å×½ºÆ®º£µå·Î ÀÎÁ¤¹Þ°í ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ» ÀǹÌÇÑ´Ù.
»óÈ£Çù·ÂÀº ASMLÄÚ¸®¾Æ(RDC)°¡ Àü ¼¼°èÀûÀ¸·Î ¼ö¸®¿äûÀÌ ÀÖ´Â ÀåºñºÎÇ°¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¸®¸¦ ¿Ï·áÇÏ°í, ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ Á¤»ó ÀÛµ¿¿©ºÎ¸¦ ÆÇ´ÜÇϱâ À§ÇÏ¿© ±â¼ú¿øÀÌ º¸À¯ÇÑ Àåºñ¸¦ È°¿ëÇÏ¿© ½Å·Ú¼º °ËÁõÀ» ÁøÇàÇß´Ù.
±Ý¹ø¿¡ °ËÁõÇÑ ºÎÇ°Àº ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤°øÁ¤ ÀåºñÀÇ ¿þÀÌÆÛ ½ºÅ×ÀÌÁö ÀÛµ¿À» °ü¸®ÇÏ´Â ÄÄÇ»ÅÍ ºÎÇ°(SIOB)À¸·Î, ASMLÄÚ¸®¾Æ(RDC)°¡ °³¹ßÇÑ Å×½ºÆ® ±â±âÀÇ ½Å·Ú¼ºÀ» ³ôÀ̱â À§ÇÏ¿© ½ÇÁõ Æò°¡ °ËÁõ °á°ú ºñ±³, ¼ö¸í¼º Å×½ºÆ® µîÀ» ÅëÇÏ¿© ºÎÇ° ½Å·Ú¼º °ËÁõ°ú Á¤»ó ÀÛµ¿À» È®ÀÎÇß´Ù.
¾ç ±â°üÀº ±Ý¹ø Çù·Â¼º°ú¸¦ ÅëÇØ ±â¼ú¿ø º¸À¯ 300mm(12ÀÎÄ¡) ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¿Í °øÁ¤±â¼úÀ» È°¿ëÇÑ ´Ù¾çÇÑ ÀåºñºÎÇ°ÀÇ °ËÁõ ¹× °³¹ß °¡´É¼ºÀ» È®ÀÎÇÏ¿´°í ÇâÈÄ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Çù·ÂÇϱâ·Î Çß´Ù.
ASMLÄÚ¸®¾Æ ÀÌ¿ì°æ ´ëÇ¥´Â “ºÎÇ° Å×½ºÆ®¸¦ À§ÇÑ ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿øÀÇ Áö¿ø¿¡ ±íÀÌ °¨»çµå¸®¸ç, ±â¼ú¿øÀÌ º¸À¯ÇÑ Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇØ ½ÇÁ¦ °øÁ¤È¯°æ°ú À¯»çÇÑ È¯°æ¿¡¼ Å×½ºÆ® ÇÔÀ¸·Î½á ASMLÄÚ¸®¾Æ(RDC) ºÎÇ°ÀÇ ±â¼úÀû ½Å·Ú¼ºÀ» ÇÑ Ãþ ´õ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ Áö¼ÓÀûÀÎ Çù¾÷À» ÅëÇØ ASMLÄÚ¸®¾Æ(RDC)°¡ ÀÚü °³¹ßÇÑ ºÎÇ°À» °ËÁõÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÌ º¸À¯ÇÑ ASML ÀåºñÀÇ ½Å¼ÓÇÏ°í Á¤È®ÇÑ À¯Áöº¸¼ö¸¦ Áö¿øÇÒ °èȹÀÌ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
±â¼ú¿ø ÀÌÁ¶¿ø ¿øÀåÀº “À̹ø ¼º°ú·Î ±â¼ú¿øÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå °³¹ßÀ» À§ÇÑ Å×½ºÆ®º£µå·Î¼ÀÇ Çٽɱâ´ÉÀ» ¼¼°èÀûÀ¸·Î ÀÎÁ¤¹ÞÀº °ÍÀ¸·Î, ÇâÈÄ ±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå Á¦Ç°°³¹ß Áö¿ø ¿ªÇÒÀ» °ÈÇØ ³ª°¡°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
³ë±¤ÀåºñÀÇ ÆÄÆ® ¼ö¸® °ËÁõ ¼Ö·ç¼Ç °³¹ß ÇöȲ |
À̼±¿ì ±âÀÚ lsw102424@naver.com
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © e½Ã»çÄÚ¸®¾ÆÀú³Î, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>